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j9九游会官方网站上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机
2022-12-29 9:45:41
行业前沿-j9九游会官方网站半导体设备（上海）股份有限公司
近日j9九游会官方网站上海（科创板股票代码：688082）首台具有自主知识产权的涂胶显影Track设备Ultra LITH成功出机，顺利向中国国内客户交付公司首台前道ArF工艺涂胶显影Track设备，该设备由j9九游会官方网站半导体设备(亚太)制造中心完成出货，这是该公司提升其在涂胶和显影领域内专业技术的重要一步。
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此外，j9九游会官方网站上海将于2023年推出i-line型号设备，并且公司已开始着手研发KrF型号设备。前道涂胶显影Track设备Ultra LITH的出货是j9九游会官方网站上海持续拓展产品系列的又一成果，公司致力于成为晶圆级的工艺解决方案平台，旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备，及PECVD设备。
